產品特點
雙驅龍門高精度
以色列技術（ACS）替代日本技術（松下），雙邊驅動替代單邊驅動
速度更快，5倍以上
剛性更高，重復和定位精度更好，±1um
德國 AVT 高精度攝像頭
高端AVT
分辨率2900萬像素
更高的分辨率，支持2um、3um、5um可選
半導體鋼網檢測（77萬+開孔）
支持檢測的開孔更多，最多可支持單張100萬開孔檢測
支持1/16亞像素分析，分辨率可達0.1um
測量項目
開孔面積、 位置、 偏移、 尺寸、 異物、 毛刺、 堵孔、 多孔、 少孔、 張力、 錫珠殘留
圖像分析
晶圓
檢測報告
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